• 应用范围：精密机床、机械设备、三坐标机、线切割机床、倾斜机床、实验室。

• 产品型号：SJ6000

• 产品名称：SJ6000激光干涉仪

• 测量方式：单频

• 稳频精度：±0.05ppm

• 测量精度：±0.5ppm（0-40）℃

• 线性测量距离：（0-80）m

• 测量分辨率：1nm

• 动态采集频率：50KHz

• 工作温度范围：（0-40）℃

• 环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

• 主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

详细信息

1. 产品简介

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。

在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。

二.工作原理

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而***道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入***个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

三.  功能特点

测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，***激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，***干涉光路稳定。

具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。

具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。

内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、***(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共10份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。

测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。

安装方便：基本重量为15kg，简单便携。